Az Intel immerziós litográfiai berendezést rendelt?

A pletykák szerint az Intel megrendelt egy immerziós -- ún. merítéses -- litográfiai berendezést, amelyet várhatóan az év végére szállít le a holland ASML Holding. Noha a világ legnagyobb chipgyártójának hivatalos technológiai tervében egyelőre nem szerepel az immerziós litográfia használata, a cég vizsgálja, a 45 nanométeres, illetve annál kisebb csíkszélességű eljárásokban hogyan alkalmazható az eljárás.

A litográfiai berendezések relatív lassú fejlődése jelentősen hátráltatja a csíkszélesség csökkentését. A chipgyártóknak különféle trükköket kell használnia annak érdekében, hogy továbbra is fel tudják használni már meglévő, méregdrága berendezéseket. Az Intel tervei szerint továbbra is az ún. száraz litográfiai eljárásokat használja majd, míg egyes gyártók az ún. immerziós -- merítéses -- eljárásokat kutatják, amelyek lényege, hogy a szilíciumlemezen egy folyadékréteg segít a fénysugár fókuszálásában és a minták rajzolásában.