0
Az Intel immerziós litográfiai berendezést rendelt?
2004. szeptember 16. 15:01
A pletykák szerint az Intel megrendelt egy immerziós -- ún. merítéses -- litográfiai berendezést, amelyet várhatóan az év végére szállít le a holland ASML Holding. Noha a világ legnagyobb chipgyártójának hivatalos technológiai tervében egyelőre nem szerepel az immerziós litográfia használata, a cég vizsgálja, a 45 nanométeres, illetve annál kisebb csíkszélességű eljárásokban hogyan alkalmazható az eljárás.